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個產(chǎn)品,

對待每一

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每一個零件

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  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
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真空和非真空的高溫無氧烘箱(520)
來源: | 作者:雋思半導體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-20 | 891 次瀏覽 | 分享到:

高溫無氧烘箱技術(shù)參數(shù) :                                   

工作室尺寸:W800mm×800mm×H800mm

材質(zhì):內(nèi)箱采用優(yōu)質(zhì)耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,

溫度范圍:RT+50-450℃

溫度分辨率:0.1℃

溫度波動度:≤±1℃

溫度均勻度:≤1.5%℃

潔凈度:使用環(huán)境同等級,可選百級(class100)無塵

升溫速度:0-10℃/min

降溫方式:自然降溫或輔助降溫(降溫速率約4℃/min)

氧含量:≤20ppm  

彩色觸摸屏操作,可程式/定值運行

樣品架:2-4層不銹鋼沖孔樣品架


高溫無氧烘箱用途:

用于精密電子元件、銀膠固化、PI/BCB/BPO膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火電子陶瓷材料防氧化烘干、測試的特殊工藝要求。


高溫真空無氧烘箱

高溫真空無氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450℃;可定制
溫度波動度:≤±1℃,
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制: 可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測:20~1000ppm
工作尺寸: W350×H350×D350,

       W450×H450×D450,

       W600×H600×D600可定制
高溫真空無氧烘箱結(jié)構(gòu)
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;
內(nèi)室材料:采用316L醫(yī)用級不銹鋼;
保溫材料:超細陶瓷纖維;
排 氣 口:有
真空泵:渦旋干泵


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