就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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氮?dú)夂嫦?/span>在半導(dǎo)體制程如何選擇？
每個半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造都需要數(shù)百個工藝,整個制造過程分為八個步驟:晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝。
然而在這數(shù)百個工藝中有數(shù)道需要烘烤工藝，而且每個烘烤工藝不是完全相同，所以需要的烘烤設(shè)備也有差異。
RGBT烘烤，PCB板防氧化烘烤，光刻膠固化，硅片高溫退火，墨點(diǎn)烘烤，外延片烘烤，LED、治具烘烤等干燥或固化工藝；
潔凈氮?dú)夂嫦湟话阌糜?/span>
光刻膠預(yù)烘烤（軟烘），堅(jiān)膜烘箱（硬烘）等工藝烘烤
高溫?zé)o氧烘箱主要用途
高溫?zé)o氧烘箱有真空無氧固化爐和熱風(fēng)無塵無氧烘箱
BCB/PI/CPI/LCP/PBO等固化工藝
用于將基底由親水性改變?yōu)槭杷?，從而增?qiáng)基底的粘附性，
適用于MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。
、、、、、
氮?dú)夂嫦?/span>技術(shù)性能
無塵等級：Class 100; 選配
溫度范圍：RT+15-200/300/400/500℃;
升溫速率：8℃/min；
降溫方式：自然降溫或輔助降溫
內(nèi)腔材質(zhì)：SUS304/316L＃鏡面不銹鋼；
外箱材質(zhì)：冷軋板噴塑或不銹鋼；
真空度：可達(dá)10Pa(真空無氧烘箱、HMDS烘箱)
氧濃度：可達(dá)10ppm(無氧烘箱)
氮?dú)庋b置：可調(diào)式浮子流量計(jì)+減壓閥
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