就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
-
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
新 聞 動 態(tài)
NEWS
HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機(jī)物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機(jī)溶劑混溶，比如醇、醚和多數(shù)非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機(jī)溶劑溶劑（如異丙醇）來清洗晶圓，以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
MUNE
>網(wǎng)站首頁 >公司簡介 >產(chǎn)品中心 >新聞動態(tài)
>幫助文檔 >在線留言 >聯(lián)系我們
上海雋思實驗儀器有限公司 ? 版權(quán)所有 滬ICP備16022591號-3
Copyright ? 2012-2018 junsicn.com All Rights Reserved.
技術(shù)支持：上海雋思儀器
CONTACT US
tel：18016234441
EMALL：junsish@163.com
