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精密無氧化烘箱剖析
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2018-05-12 | 2957 次瀏覽 | 分享到:

精密無氧烘箱的名稱
     無氧烘箱也稱為無氧化烘烤(烤)箱、防氧化烘箱、厭氧烘(烤)箱,無塵無氧烘(烤)箱,高溫固化烘箱等。主要是提供一種高溫且氧含量很低的烘烤空間,防止產(chǎn)品在高溫烘烤、固化等工藝時產(chǎn)生氧化。
精密無氧烘箱的原理:
無氧:采用惰性氣體(常用氮氣)置換腔內(nèi)氣體,達到氧濃度極低的環(huán)境;具有氧含量分析儀,全程檢測氧含量值,實時顯示
         并 記錄。

高溫:電加熱器提供高溫的環(huán)境;
降溫:水冷、風冷可單獨采用一種或兩種降溫方式輔助降溫,使得降溫速率加快,提高生產(chǎn)效率,節(jié)約時間;
操作:無氧烘箱采用人機交互+PLC的控制方式,智能、快速、一鍵操作方式。
精密無氧烘箱的技術性能:
內(nèi)部大?。撼S?W500mm×500mm×H500mm ,多尺寸可選擇、可定制
材料:  外部箱冷軋板噴塑,內(nèi)箱國際SUS304不銹鋼
溫度指標:  100-400/500℃
溫度精度:  0.1℃
波動度:≤±1℃
均勻度: ≤1.5%℃
潔凈能力:可選class100,百級潔凈度   
低氧指標:  氧含量≤ 20ppm  
數(shù)據(jù)記錄:  氧含量記錄,多點溫度記錄
智能操作: 人機界面+PLC,可程式/定制運行,大屏顯示、一鍵操作
產(chǎn)品支架: 2層

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