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中科大在InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱)單光子探測(cè)器芯技術(shù)有重要突破
來(lái)源:電子工程技術(shù)領(lǐng)域期刊Journal of Lightwave Technology。 | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2022-05-27 | 911 次瀏覽 | 分享到:

近日,中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)光學(xué)與光學(xué)工程系教授王亮課題組設(shè)計(jì)并制備的InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱))單光子探測(cè)器芯片取得了重要進(jìn)展。


前述團(tuán)隊(duì)通過(guò)設(shè)計(jì)金屬—分布式布拉格反射器優(yōu)化單光子探測(cè)器芯片的光學(xué)性能,完成低本征暗計(jì)數(shù)的單光子探測(cè)器芯片的全自主化設(shè)計(jì)與制備,實(shí)現(xiàn)了單光子探測(cè)器芯片的全國(guó)產(chǎn)化,為解決我國(guó)前沿科技問(wèn)題邁進(jìn)了重要一步。


基于InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱)材料的半導(dǎo)體單光子雪崩二極管(SPAD)具有單光子級(jí)別的高靈敏度、短波紅外波段的人眼安全、大氣窗口波段低損耗、穿透霧霾、低功耗、小尺寸、易于集成等優(yōu)秀特點(diǎn)。


前述優(yōu)點(diǎn)使SPAD在量子信息技術(shù)、主被動(dòng)的焦平面探測(cè)器、城市測(cè)繪、激光雷達(dá)等多個(gè)領(lǐng)域均發(fā)揮著重要作用,具有民用、商用以及軍用價(jià)值。


中科大團(tuán)隊(duì)通過(guò)調(diào)整MOCVD的溫度、V/III比、摻雜濃度等生長(zhǎng)參數(shù),實(shí)現(xiàn)低缺陷密度和高摻雜精度的外延結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)。其中,MOCVD是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。


(a) SPAD的器件結(jié)構(gòu)示意圖,(b) 12μm窗口的超低暗計(jì)數(shù)SPAD芯片及測(cè)試結(jié)果


團(tuán)隊(duì)在SPAD器件結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,提出并設(shè)計(jì)了新型的寬譜(全光通信波段)全反射鏡,即金屬—分布式布拉格反射鏡,用以提升SPAD芯片的光電吸收效率。其制備的12μm(微米)窗口的低暗計(jì)數(shù)SPAD,在溫度233K(開(kāi)氏度)及10%的探測(cè)效率下具有127Hz(赫茲)的超低本征暗計(jì)數(shù),比國(guó)外同類產(chǎn)品低一個(gè)量級(jí),擁有更優(yōu)的器件性能,此芯片可滿足量子通信等應(yīng)用的單光子探測(cè)使用需求,并可替代進(jìn)口器件。


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