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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)在超薄鈮酸鋰材料的應(yīng)用

來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2023-07-06 | 881 次瀏覽 | 分享到:

鈮酸鋰具有出色的光電特性，作為一種集成光子平臺(tái)，受到廣泛關(guān)注。在此基礎(chǔ)上，各種功能光子器件，如電光調(diào)制器和非線性波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器，已經(jīng)展現(xiàn)出令人矚目的性能。與此同時(shí)，基于鈮酸鋰薄膜的激光器和放大器作為集成光子系統(tǒng)的重要組成部分，也取得了一系列令人振奮的突破和進(jìn)展。

鈮酸鋰材料將引領(lǐng)未來片上集成光路的變革。隨著全球經(jīng)濟(jì)數(shù)字化浪潮的推動(dòng)，智慧城市和數(shù)據(jù)中心的建設(shè)與光子芯片的研發(fā)和生產(chǎn)密切相關(guān)。鈮酸鋰材料可用于制備集成激光器、放大器、變頻器、電光調(diào)制器、光電探測(cè)器等關(guān)鍵光子器件，促進(jìn)了光通信、激光雷達(dá)、粒子傳感、信息處理等領(lǐng)域的快速發(fā)展。未來，更多類型的高集成、多功能LNOI芯片將走向產(chǎn)業(yè)化，片上集成光路領(lǐng)域也將迎來數(shù)字經(jīng)濟(jì)時(shí)代的新發(fā)展機(jī)遇。"

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、碳化硅、玻璃、藍(lán)寶石、鍍金晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS預(yù)處理系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）技術(shù)性能：

內(nèi)尺寸：300×300×300，450×450×450，550×550×550（mm）（可定制）

溫度范圍：RT+50-200℃

真空度：≤1torr

控制方式：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

真空泵：無油渦旋真空泵

智能型HMDS預(yù)處理系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）特點(diǎn)：

HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能