就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
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用途 |
用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝 |
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溫度范圍 |
室溫＋10℃～250℃ |
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溫度波動度 |
恒溫溫度波動±0.5℃ |
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溫度均勻度 |
計算方法:設(shè)定150℃,6點測溫,(max-min)/min≤3.5% |
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工作室尺寸（mm） |
450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
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潔凈度（class） |
Class100 |
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氣體過濾 |
配有氣體過濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級 |
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隔板要求 |
每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
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箱體外壁材料 |
冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
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箱體內(nèi)壁材料 |
為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
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保溫材料 |
優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米玻璃棉 |
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氮氣接口 |
能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行 |
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控制方式 |
人機界面+PLC控制 |
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氮氣流量 |
0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線） |
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超溫保護 |
采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調(diào) |
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計時方式 |
溫度達到制程設(shè)定值后開始計時. |
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排風(fēng)口 |
直徑50mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥 |
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電氣安全保護 |
風(fēng)機過載保護、加熱系統(tǒng)超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護. |
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MES軟件 |
可連接MES系統(tǒng) |
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作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確 |
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自動記錄作業(yè)累計次數(shù)，作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表 |
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有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動記錄作業(yè)人員 |
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