就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱應(yīng)用背景
BCB作為一類高性能聚合物，以它特有的性質(zhì)，將會被越來越多地使用。BCB是具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性和機(jī)械強(qiáng)度的高性能材料。在現(xiàn)代高技術(shù)領(lǐng)域有非常重要的應(yīng)用。例如在微電子制造中，用作各類器件鈍化防護(hù)和層間介電等。
BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱工藝要求
涂BCB后，聚合物膜層需被處理以確保對后序處理操作的抵抗性。
由BCB樹脂構(gòu)成的膜的處理需在無氧條件下(<100ppm)進(jìn)行。
1. 3-8分鐘 上升到50℃ 恒溫5-15分鐘
2.15-20分鐘 上升到100℃ 恒溫15-25分鐘
3.15-20分鐘 上升到150℃ 恒溫15-25分鐘
4. 40-80分鐘上升到250℃ 恒溫45-65分鐘
5.冷卻
BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱技術(shù)指標(biāo)：
工作室尺寸（mm）：350*350*350/450*450*450/600*600*600/可定制
真空度：≤133pa
溫度：TT+50～400℃
升溫速率：1～8℃/m，可調(diào)
降溫時間：350-90℃≤80min
氧濃度：≤10ppm
箱內(nèi)材質(zhì)：316L醫(yī)用級不銹鋼
真空泵：渦旋式無油泵
保溫材質(zhì)：陶瓷纖維
冷卻裝置：水冷+風(fēng)冷
操作方式：人機(jī)界面+PLC
運行功能：自動一鍵運行
程序模式：多個工藝保存編輯
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