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超強可拉伸纖維應變傳感器可用于可穿戴數(shù)顯恒溫加熱臺
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-05 | 1047 次瀏覽 | 分享到:

柔性可穿戴電子系統(tǒng)作為新型的便攜式電子設備,在人機交互、狀態(tài)監(jiān)測、醫(yī)療保健等領域具有廣泛的應用。性能優(yōu)越的可穿戴電子系統(tǒng)通常需要堅韌的材料來保證其耐用性和穩(wěn)定性。由于纖維狀的電子材料更易于集成到可穿戴設備中,且具有優(yōu)良的結(jié)構(gòu)靈活性,從而成為可穿戴電子系統(tǒng)中必不可少的基本組件。然而,制備兼具較高機械強度和優(yōu)異拉伸性能的纖維材料仍然極具挑戰(zhàn)。

西北工業(yè)大學黃維院士團隊王學文教授課題組與北京理工大學準聘教授宋維濤合作,報道了一種可用于人體健康監(jiān)測的柔性纖維應變傳感器(Adv. Mater. 2022, 2107511)。在這項工作中,研發(fā)團隊巧妙地利用外層與內(nèi)芯力學性能耦合的策略,以一種高強度、高彈性的新型聚氨酯(PU)作為導電纖維傳感器的內(nèi)芯,極大的增強了纖維應變傳感器的力學性能,實現(xiàn)了同時具備高力學強度和優(yōu)異拉伸性能的柔性纖維傳感器,解決了機械性能與拉伸性能難以兼容的難題。此外,還利用靜電紡絲技術實現(xiàn)了不同直徑纖維傳感器的可控制備,并通過微纖維網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)以及封裝層的共同作用,極大的降低了纖維傳感器的恢復遲滯性。


新型纖維應變傳感器同時具有優(yōu)異的應變范圍(~700%)和較高的拉伸強度(~17.6 MPa)。在應變檢測中表現(xiàn)出高靈敏度和超高的應變分辨率(0.0075%),且可實現(xiàn)對0~40Hz低頻振動信號的精準監(jiān)測。研發(fā)團隊將高性能纖維應變傳感器植入到衣服中,研制了柔性可穿戴智能健康監(jiān)測系統(tǒng),該智能電子服裝可實現(xiàn)對身體震顫、脈搏、呼吸、手勢及6種人體運動姿態(tài)的實時監(jiān)測。該成果將有助于推動健康評估與疾病診斷技術向智能化、高效化、精準化等方向發(fā)展,為改進和提升醫(yī)療信息傳遞、處理的效率和質(zhì)量提供新的思路,促進遠程醫(yī)療、“無人”醫(yī)療、智慧醫(yī)療等變革性醫(yī)療技術的發(fā)展,為智能時代的實現(xiàn)提供重要的技術儲備。



數(shù)顯恒溫加熱臺

數(shù)顯恒溫加熱臺在光刻工藝的烘烤目的

光刻光刻工藝中需要烘烤的步驟有:預烘培和底漆涂敷、軟烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤。

軟烘烤將光刻膠從液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楣虘B(tài),增強光刻膠在晶體表面的附著力;

PEB(曝光后烘烤)的目的是降低駐波效應;

硬烘烤的目的是除去光刻膠內(nèi)的殘余溶劑、增加光刻膠的強度,并通過進一步的聚合作用改進光刻膠的刻蝕與離子注入的抵抗力,增強了光刻膠的附著力。

數(shù)顯恒溫加熱臺的用途

  數(shù)顯恒溫加熱臺用于晶圓的單面烘烤,可用于預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復性好。

數(shù)顯恒溫加熱臺性能:

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控溫范圍:室溫--200、300/400/500/600℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

可選配功能:

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃,無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)



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