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潔凈烘箱在集成電路制造中的用途
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-07 | 1024 次瀏覽 | 分享到:
  • 潔凈烘箱在集成電路制造中的用途

  • 集成電路封裝:指安裝集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護芯片及增強電熱性能等方面的作用,而且還通過芯片上的接點用導(dǎo)線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通過印刷電路板上的導(dǎo)線與其他器件相連接。

  • 集成電路測試:指通過目檢或物理測試方式,檢查封裝后產(chǎn)品的外觀、電氣特性、可靠性、運行速度等。

  • 然而在集成電路封裝、測試工藝流程中潔凈烘箱的是比不可少的生產(chǎn)設(shè)備,其中以下工藝段中需要潔凈烘箱設(shè)備。

  • 裝片固化(銀膠固化烘箱):將裝片完成后的框架送入前道烘箱,關(guān)閉倉門,通入氮氣,然后開啟烘箱電源,使箱內(nèi)溫度提升至 175℃,固化時間持續(xù)約 1 小時,從而使裝片時使用的導(dǎo)電銀膠固化。

  • 塑封固化:注塑完成后,工件轉(zhuǎn)移至固化加熱爐,采用電加熱的方式對其進行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。

  • 潔凈烘箱

  •    潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

  • 潔凈烘箱技術(shù)性能

  • 潔凈等級:Class 100;    

  • 溫度范圍:RT+10~250/450℃;

  • 溫度均勻度:±1.5%℃;    

  • 溫度波動度:±1℃(空載);        

  • 溫控精度:0.1℃;

  • 內(nèi)腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱體一體式;


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